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外延系统-金属有机化学气相沉积系统


金属有机化学气相沉积系统AIXTRON CCS

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AIXTRON CCS 通过金属有机化学气相沉积法,将金属有机源和五族气体源同时引入高温反应室,精确控制源流量、温度、反应时间等参数,在稳定的流场和温场条件下沉积单晶薄膜材料。系统控制精度可达到原子层级。


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公司名称:华慧芯科技(天津)有限公司


平台简介: 


    清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心,占地约800平方米,其中百级黄光区100平方米。中心拥有完整的光电子器件研发设备,支持III-V族半导体、硅基半导体、二维材料、柔性材料、金属材料等光电子芯片的研发,并具有多个纳米尺度的特色工艺模块和先进表征模块;配套的测试实验室提供国际领先的芯片测试分析技术。


    中心在支持天津电子院项目孵化的同时,面向社会开放,提供纳米尺度下光电子芯片的制备工艺的解决方案,以提升我国光电子芯片的研发水平和产业化进程。


地址:江苏


服务保障:已审核 已通过企业认证