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光刻设备-电子束光刻

电子束光刻系统JEOL JBX-9500FS

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JEOL JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统。最大能容纳Φ300mm的晶圆片和6英寸的掩模版。具有100MHz的扫描速度。1000μm×1000μm写场的套刻精度达到±11nm、场拼接精度为±10nm、写场内位置精度达±9nm。采用20位的光束定位DAC以及14位的扫描DAC,可以得到0.25nm的扫描步距。该系统适合光子器件、通信设备、纳米压印等多个领域的研发及生产。



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公司名称:华慧芯科技(天津)有限公司

平台简介: 

    清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心,占地约800平方米,其中百级黄光区100平方米。中心拥有完整的光电子器件研发设备,支持III-V族半导体、硅基半导体、二维材料、柔性材料、金属材料等光电子芯片的研发,并具有多个纳米尺度的特色工艺模块和先进表征模块;配套的测试实验室提供国际领先的芯片测试分析技术。

    中心在支持天津电子院项目孵化的同时,面向社会开放,提供纳米尺度下光电子芯片的制备工艺的解决方案,以提升我国光电子芯片的研发水平和产业化进程。

地址:天津

服务保障:已审核 已通过企业认证