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电子束蒸发沉积薄膜

通过电子束蒸发的方法,在基底沉积薄膜。可沉积金属及介质薄膜。

设备型号为Kurt LAB Line PVD 75,最大支持6寸片。

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服务介绍:

通过电子束蒸发的方法,在基底沉积薄膜。可沉积金属及介质薄膜。

设备型号为Kurt LAB Line PVD 75,最大支持6寸片。

服务内容:

1. 基片清洗(视情况而定)

2. 电子束蒸发沉积薄膜

3. 光学检测


服务说明:

客户提供:基片。特殊材料则需客户自行提供蒸发源材料。

实验周期:1-2个工作日。

收费标准:××元/片次;特殊片另行协商。


成果展示: