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电子束光刻

利用电子束直写的方法,在光刻胶上得到预先设计的图形。

电子束光刻机型号为JEOL JBX-9500FS,最大支持6英寸片。支持正/负光刻胶,支持套刻。套刻精度20nm,写场拼接精度20nm,场内定位精度15nm。

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服务介绍:

利用电子束直写的方法,在光刻胶上得到预先设计的图形。

电子束光刻机型号为JEOL JBX-9500FS,最大支持6英寸片。支持正/负光刻胶,支持套刻。套刻精度20nm,写场拼接精度20nm,场内定位精度15nm。

服务内容:

1. 清洗基片(视情况而定)

2. 旋涂光刻胶

3. 烘烤

4. 电子束曝光

5. 显影/定影

6. 烘烤

7. 光学检测


服务说明:

客户提供:基片及版图电子版(.gds格式)。套刻则还需提供套刻说明。

实验周期:视难易程度而定。

收费标准:每小时××元;特殊片另行协商。


成果展示: